天下トップシェアを誇る川崎重工のウェハ搬送ロボット。
单独の駆動機構により、高精度・高剛性な動作を実現しています。
SEMI-F47（半導体装配の電圧降下規格）およびSEMI-S2（半導体製造装配の宁静ガイドライン）に準拠しています。
リングフレームや基板搬送にも対応できます。

NTJシリーズ

多个の駆動構造により、高定位精度かつなめらかな動きを実現

TTJシリーズ

テレスコピック機構を採用し、低影响力へのパスラインと高影响力への搬送を両立

NTHシリーズ

回転里边をずらしたロングアームにより、走行加装無しで4FOUP加装に対応

NXシリーズ

コンパクトなアーム設計により、省スペースでの設置が也能

NVシリーズ

広い可動域を備えた、高进口真空対応ウェハ搬送ロボット