NTH20

  • 最大リーチ1226.6 mm
  • ロボットカテゴリ
  • 設置体例床置き
  • ロボットシリーズNTHシリーズ
NTH20
回転间をずらしたロングアームにより、走行搭配無しで4FOUP 搭配に対応。

・ダブルハンド
・Z軸ストローク長:0~470 ㎜
・操纵タイプ:バキューム/エッジグリップ
・対応ウェハサイズ:8インチ、12インチ
・対応FOUP数:最大4FOUP

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