ウェハ搬送

ウェハ搬送

ウェハ搬送は半導体製造装配の前工程では主要な工程で、特に高精度、高速率が求められます。
カワサキのウェハ搬送ロボットは高品質、高机能のクリーンロボットを供给しており、天下でトップシェアを誇ります。

ウェハ搬送に利用するロボット

ウェハ搬送ロボット

ウェハ搬送ロボット

半導体製造装配工艺の核心工程项目でウェハの搬送をするロボット。